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光柵繞射式光學尺(Heidenhain)，感測靈敏度: 10 nm

精密螺桿微步馬達驅動器(Oriental)，驅動解析度: 10 nm

滾柱滑軌移動台面125 mm x 125 mm，行程: 60 mm

光學尺數值閉迴路控制器，USB2.0通訊，簡易英文指令碼

圖形操控介面軟體