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光柵繞射式光學尺(Sony)，感測靈敏度: 1 nm

光電訊號週期: 400 nm , sin/con 1 Vpp

精密螺桿微步馬達驅動器，驅動解析度: 1 nm

滾柱滑軌移動台面180 mm x 150 mm，行程: 100 mm

光學尺數值閉迴路控制器解析度1 nm

RS232通訊，ASCII 簡易英文指令碼