光柵反射式光學尺，解析度: 0.1 micron
無鐵磁干擾線性馬達移動線圈，驅動靈敏度: 0.1 micron
移動台面250 mm x 250 mm，行程: 200 mm
光學尺數值閉迴路控制器，RS232通訊，簡易英文指令碼
圖形操控介面軟體
