光學式光學尺(Heidenhain),解析度: 1 micron
無繞線干擾,移動磁鐵線性馬達驅動,靈敏度: 1 micron
移動台面240 mm x 180 mm,行程: 135 mm
光學尺數值閉迴路控制定位1 micron,RS232通訊,簡易英文指令碼
圖形操控介面軟體
位移振幅追隨模式: +-10V 類比訊號輸入,接受震波模擬